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納米壓印光刻技術(shù)在晶體行業(yè)、光學(xué)行業(yè)的發(fā)展領(lǐng)域及其廣闊：

1.晶圓級光學(xué)加工：2017年發(fā)布的結構光人臉識別技術(shù)第一次將微納光學(xué)元器件引入了消費類(lèi)電子領(lǐng)域，晶圓級光學(xué)器件加工的概念也逐漸映入人們的眼簾。

2.2019年高端智能手機：3D傳感iTOF模組中的勻光片再次引入了納米壓印作為量產(chǎn)手段。

3.2020年AR衍射光波導光柵：加工將納米壓印技術(shù)的應用推向面積更大的12英寸，納米壓印終于完成了從科研到大規模量產(chǎn)的華麗轉身。

4.納米壓印原始模具：加工方式有電子束直寫(xiě)、激光直寫(xiě)、光刻、刻蝕、電鍍、機加工等。如此來(lái)看，模具的潔凈度必須得到有效的保障。因不管是被使用還是自身的制作都是高要求。

5.威固特VGT-1507FT光學(xué)級超聲波清洗設備用途：清洗納米模具、光學(xué)器件、晶圓表面粘附的灰塵及污染物；做到清洗后表面不得有油污及其他雜物，達到的清洗效率可以每天1班，每班12H，清洗每籃節拍2-4分鐘可調（以實(shí)際干燥時(shí)間為準）。

深圳威固特VGT-1507FT光學(xué)級超聲波清洗機（整機共為15個(gè)功能槽）：

原理：清洗過(guò)程中工件通過(guò)超聲波高頻產(chǎn)生的“氣化現象”的沖擊和系統自身不停地作上下運動(dòng)，增加了液體的摩擦，從而使工件表面的污垢能夠迅速脫落，實(shí)現其高清潔度的目的。

設備配置：循環(huán)過(guò)濾系統、浸泡系統、自動(dòng)恒溫系統、溢流系統、拋動(dòng)系統、超聲波清洗系統、慢拉脫水系統、熱風(fēng)烘干系統等。其中清洗部分與慢拉及熱風(fēng)干燥部份分別獨立電器控制，設備采用環(huán)保型有機溶劑洗滌、水溶劑洗滌、純水漂洗、慢拉脫水熱風(fēng)烘干，為自動(dòng)智能式清洗機。

整機分部的結構配置系統：

自動(dòng)上下料裝置：

1. 上料系統可放置2-4個(gè)清洗籃工位；下料系統可放置1-2個(gè)清洗籃工位。

2. 與整機呈“一”或“T”字擺放，可視生產(chǎn)實(shí)際情況穩定。

3. 清洗籃放置架有防滑落裝置。

4. 上、下料結構采用通用清洗籃，能夠實(shí)現多種零件的通用上料。

5. 上下料節拍通過(guò)感應開(kāi)關(guān)與PLC相連，控制上下料節拍。

為清洗中產(chǎn)生的油污及使用的清潔溶液設置的結構：

1.每槽設四面溢流口，溢水槽寬35mm，各槽皆為獨立循環(huán)槽，由循環(huán)泵將洗劑由儲液箱抽出經(jīng)過(guò)濾后再運回清洗槽，即字母槽循環(huán)。

2.設置獨立循環(huán)過(guò)濾系統。

3.各槽底部設排液閥且互相串聯(lián)至總排管。

4.槽內設溫度感應器，溫控范圍：RT-100℃數顯可調。

5.槽外設置拋動(dòng)。

6.由隔板分成兩腔，分油后的清潔溶液經(jīng)循環(huán)泵重新抽入清洗槽，實(shí)現自我循環(huán)，提高溶液的利用率，而分離后的油排放到總排管。

7.設市水進(jìn)口，可分別接至各洗槽及儲液箱。

8.配冷卻水管，由清洗槽內溫度感應器通過(guò)電磁閥控制加水。

9.配不銹鋼加熱管，功率4KW。

10.設下限液位開(kāi)關(guān)，水位低時(shí)自動(dòng)聲光報警，報警器串聯(lián)。

11.儲液槽底部設排液閥，與清洗槽串聯(lián)同時(shí)排入總排管。

在超聲波清洗機中發(fā)生器起到的主力作用：

1. 配置第四代超聲波發(fā)生器，從根本上保證超聲波的有效轉換率，保證超聲波效果并保證超聲波發(fā)生器質(zhì)量的穩定性。

2. 超聲波發(fā)生器內設單片機，內附特有的定時(shí)系統，可根據生產(chǎn)需要任意調整清洗時(shí)間并形成一對一的設置，定時(shí)更具有靈活性，保證清洗的一致性。

3. 超聲波強度光電信號顯示。

慢拉脫水槽、熱風(fēng)烘干槽、工件提升橫移機構、拋動(dòng)機構具備的功能優(yōu)勢：

1. 槽面設齒狀溢流結構，純水由純水預熱箱進(jìn)入。槽外貼保溫棉厚10mm。

2. 槽體設備“OMRON”數顯溫控系統，檢測槽內工作溫度，溫控范圍：常溫～120℃。

3. 槽體上部設抽風(fēng)小孔，將溢出的水蒸汽抽走，放置水氣再次附著(zhù)于提出的產(chǎn)品上。

4. 原理：高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工藝和配置外，更需要良好的脫水效果。工件表面如果有任何垢點(diǎn)或積水點(diǎn)，都將導致制作中的失敗。高純水高溫慢拉脫水是產(chǎn)品高精度清洗必不可少的工序，有效的形成均勻的熱純水膜，迅速散失表面水份，實(shí)現表面高清潔度的目的，為后續干燥奠定有利基礎。

5. 熱風(fēng)烘干槽：每個(gè)烘干槽配置一套氣缸，氣缸帶動(dòng)產(chǎn)品一起運動(dòng)，形成密封蓋。

6. 循環(huán)凈化熱風(fēng)，經(jīng)高效過(guò)濾后，對產(chǎn)品進(jìn)行干燥。

7. FFU壓風(fēng)系統：在烘干槽正上方的機架頂部設置一個(gè)FFU層流送風(fēng)單元。由上往下吹風(fēng)形成負壓風(fēng)，致使工件加熱后附著(zhù)物不易粘附。

8. 工件提升橫移：由電機帶動(dòng)鏈條傳送實(shí)現工件的提升下降運動(dòng)，電機采用“松下”伺服馬達（速度變頻可調），功率1/2HP。

9. 拋動(dòng)電機通過(guò)偏心輪帶動(dòng)線(xiàn)性滑塊上下運動(dòng)，從根本上保證拋動(dòng)的連續性，減少拋動(dòng)的摩擦阻力，杜絕因工件過(guò)重而損壞拋動(dòng)系統，從而實(shí)現拋動(dòng)架帶動(dòng)洗籃在清洗槽內作上下運動(dòng)。運行穩定性好，噪聲小。有利于表面污垢迅速脫落，提高清洗效果。