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一、引言(學(xué)習藍寶石襯底的用意及用處)
近二十年來(lái),氮化鎵基發(fā)光二極管取得了飛躍式發(fā)展,并實(shí)現了大規模的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。氮化鎵基發(fā)光二極管由于其高效、節能、環(huán)保等優(yōu)越性能,將取代現有的白熾燈、熒光燈、鹵化燈等而成為主流的固態(tài)照明工具。
然而,同質(zhì)外延生長(cháng)所需的高質(zhì)量GaN襯底的價(jià)格昂貴且遠不能滿(mǎn)足大規模生產(chǎn)的需求,F有的外延襯底大部分仍是藍寶石,由于藍寶石與GaN材料存在晶各失配和熱失陪等缺點(diǎn),這阻礙了GaN晶體質(zhì)量的提高,從而導致了GaN的發(fā)光器件性能的進(jìn)一步提高。大量研究表明,圖形化藍寶石襯底有利于降低晶體的位錯密度和應力釋放,從而大大改善GaN晶體的質(zhì)量和GaN的發(fā)光器件性能。
二、藍寶石襯底的常規清洗方法
在正常的室溫下,有機溶劑超聲清洗,以及加熱條件下,丙酮浸泡。
實(shí)施本發(fā)明的藍寶石襯底清洗方法,取消了傳統清洗方法中使用的三氯乙烯試劑,減少了環(huán)境污染,避免人員中毒,在清洗過(guò)程中,使用超聲波和加熱清洗,可節省清洗時(shí)間,提高清洗效率和質(zhì)量。工藝簡(jiǎn)單、操作方便,滿(mǎn)足環(huán)保要求。
然而,使用超聲波清洗機清洗藍寶石襯底,是利用了超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對液體和污物直接、間接的作用,使污物層被分散、乳化、剝離而達到清洗目的。
三、藍寶石襯底清洗用超聲波設備類(lèi)型中的光學(xué)超聲波清洗機
深圳威固特VGT-1403FH為光學(xué)超聲波清洗機,設備共有14個(gè)功能槽,配置有循環(huán)過(guò)濾系統、有機溶劑蒸餾回收系統、自動(dòng)恒溫系統、拋動(dòng)系統、超聲波清洗系統、抽風(fēng)裝置、環(huán)保液前處理系統、慢拉脫水、熱風(fēng)烘干等。設備采用環(huán)保型有機溶劑洗滌、水溶劑洗滌、純水漂洗、離心烘干為環(huán)保型清洗機。是藍寶石襯底在清洗設備上值得首要考慮的。
四、深圳威固特VGT-1403FH光學(xué)超聲波清洗機的小部分結構配置是這此需了解的
熱風(fēng)烘干槽:
結構:每個(gè)烘干槽配置一套氣缸。
加熱系統結構:
1、外置式不銹鋼加熱箱;
2、內設不銹鋼加熱管,功率12KW,配OMRON數顯式溫控系統,監控箱內熱風(fēng)溫度,溫控范圍:~120℃。
FFU壓風(fēng)系統:
結構:在烘干槽正上方的機架頂部設置一個(gè)FFU層流送風(fēng)單元。由上往下吹風(fēng)形成負壓風(fēng),致使工件加熱后附著(zhù)物不易粘附。
功能:因慢拉槽液溫較高,如無(wú)頂部的FFU壓風(fēng),大量的水汽將往上騰,水氣會(huì )再次附著(zhù)于提出的藍寶石襯底上;安裝FFU后,可在上方形成局部正壓,大部分水氣從缸面的抽氣口抽走。
其實(shí),也有很多對干凈后的藍寶石襯底樣品選擇進(jìn)行旋轉吹干處理。深圳威固特的甩干機的基本工藝操作流程簡(jiǎn)單概述下:
開(kāi)機—參數設置—裝入樣品—啟動(dòng),執行工藝流程—啟動(dòng),執行工藝流程—過(guò)程結束,取出樣品。